依據(jù)GB50472-2008《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》

12.3.4 潔凈廠房內(nèi)火災(zāi)探測器的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層、機房、站房等均應(yīng)設(shè)置火災(zāi)探測器，其中潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)置智能型探測器；

　　2 當潔凈廠房防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行 標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的規(guī)定時或頂部安裝點式探測器不能滿足現(xiàn)行規(guī)范設(shè)計要求時，在潔凈室(區(qū))內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風前的回風氣流中應(yīng)設(shè)置靈敏度嚴于0.01% obs/m的早期煙霧報警探測器（編者注：即吸氣式感煙火災(zāi)探測器）；

　　3 硅烷儲存、分配間(區(qū))，應(yīng)設(shè)置紅外線-紫外線火焰探測器；

　　4 潔凈生產(chǎn)區(qū)、走道和技術(shù)夾層(不包括不通行的技術(shù)夾層)應(yīng)設(shè)置手動報警按鈕和聲光報警裝置。

　　【條文說明】12.3.4 制定本條的依據(jù)是：

　　1電子工業(yè)潔凈廠房內(nèi)火災(zāi)探測器選擇時，應(yīng)充分考慮潔凈室(區(qū))的環(huán)境條件及房間構(gòu)造特點，如高度、面積、空氣流向、流速、有無對火災(zāi)探測器的干擾等，以及火災(zāi)探測器的特性和技術(shù)指標。選用智能型探測器可比較可靠地探測火災(zāi)。

　　2在一些芯片制造和第五代、六代以上液晶顯示器生產(chǎn)用潔凈廠房，潔凈生產(chǎn)區(qū)的面積較大，防火分區(qū)的面積大大超過現(xiàn)行 標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016規(guī)定的更大 容許建筑面積，為強化消防設(shè)計技術(shù)措施，本條明確規(guī)定在潔凈室(區(qū))內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風前的回風氣流中，應(yīng)設(shè)置高靈敏度的早期煙霧報警探測器，把著眼點放在不可見煙霧的探測，盡早發(fā)現(xiàn)火情，把火災(zāi)消滅在萌發(fā)階段，為避免事態(tài)擴大爭取到更多的寶貴時間。據(jù)了解，近年來這類潔凈廠房均在回風氣流中安裝了高靈敏度早期報警火災(zāi)探測器，雖然費用較高和安裝、維護要求嚴格，但仍然得到了用戶和消防部門的認可。

　　3在室溫下，硅烷是一種在空氣中可以自燃的氣體，硅烷一旦泄漏，很快燃燒，不產(chǎn)生煙霧。而紅外—紫外線(UV-IR)雙重掃描的火焰探測器，對硅烷產(chǎn)生的火災(zāi)反應(yīng)速度最快。故規(guī)定硅烷儲存、分配間(區(qū))應(yīng)采用火焰探測器。

　　4潔凈室(區(qū))的上下技術(shù)夾層、靜壓箱有時是有操作人員在現(xiàn)場的，當這些區(qū)域發(fā)生火災(zāi)時，為了 時間發(fā)出警報，便于人員疏散，應(yīng)設(shè)置手動報警按鈕和聲光報警裝置。

12.3.6 潔凈廠房內(nèi)下列場所應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報警裝置：

　　1 易燃、易爆、有毒氣體的儲存分配間(區(qū))；

　　2 易燃、易爆、有毒氣體的氣瓶柜和分配閥門箱內(nèi)；

　　3 工藝設(shè)備的氣體分配箱和排風管內(nèi)。

　　【條文說明】1在一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中使用品種多樣的易燃、易爆、有毒氣體，如SiH4、SiH2Cl2、NH3、C4F6，AsH3、PH3、Cl2等。這些氣體一旦泄漏，將可能產(chǎn)生火災(zāi)或爆炸、或危及操作人員安全、或?qū)υO(shè)備造成損害。因此，必須設(shè)置有效、安全、可靠的氣體探測和控制系統(tǒng)，避免、防止因氣體泄漏造成事故。氣體探測器按原理分，有電化學(xué)式、化學(xué)紙帶式、紅外技術(shù)和固態(tài)金屬氧化物技術(shù)等；按采樣方式分，有泵吸式和擴散式。應(yīng)根據(jù)所監(jiān)測的氣體物化特性和使用環(huán)境特點合理選用。

　　2因在各種氣體的輸送管道和特種氣體的氣瓶柜、分配閥門箱內(nèi)的氣瓶閥、減壓閥、分配閥、切換閥等的連接處容易產(chǎn)生氣體泄漏，在特氣柜更換氣瓶時因操作不當閥門未關(guān)緊，管道接口、閥門受腐蝕或連接不牢固等原因，易產(chǎn)生氣體泄漏。因此，在這些易發(fā)生泄漏的場所，沿程管道的閥門或接頭易泄漏處和氣瓶柜、分配閥門箱內(nèi)均應(yīng)設(shè)置檢測點。氣瓶柜、分配閥門箱均設(shè)有強制排風系統(tǒng)，如有氣體泄漏時，泄漏的氣體大部分被吸入到排風管內(nèi)，所以應(yīng)將采樣點設(shè)置在排風管口處。

　　3氣體泄漏報警裝置報警后，為了及時切斷相應(yīng)氣體的氣源，防止繼續(xù)泄漏，造成著火、爆炸事故，應(yīng)自動聯(lián)鎖相應(yīng)氣體輸送管道的進氣閥門。

　　4美國消防協(xié)會發(fā)布的NFPA 318《潔凈室消防標準》，第6.6.1條規(guī)定：易燃或有毒氣體在使用中，應(yīng)設(shè)置于配有排氣通風的柜內(nèi)，柜內(nèi)應(yīng)設(shè)置氣體監(jiān)測報警和自動切斷氣體供應(yīng)設(shè)施。第6.6.3條規(guī)定：在可能有易燃、有毒氣體泄漏的場所、閥門或裝配件或接頭處，應(yīng)設(shè)置氣體報警和排氣通風設(shè)施，一旦報警時，應(yīng)能切斷氣源。第6.6.5條規(guī)定：對可能發(fā)生易燃氣體泄漏的場所，設(shè)置爆炸下限20％的報警裝置。以上各條要求是制定本條規(guī)定的主要依據(jù)。